第三代半导体材料外延设备瓶颈被突破 国产MOCVD有望实现弯道超车

高工LED2018-07-11 10:59:18

  “众所周知,MOCVD的应用领域非常广泛,包括照明、显示、军事、卫星、石墨烯等领域,这也凸显出MOCVD在整个化合物半导体产业里面的重要性。”中晟光电董事长/CEO陈爱华在高工LED年会上表示。


中晟光电董事长/CEO陈爱华


  2017年12月21日--22日,由高工LED主办的以“硝烟渐消比拼软实力深度整合挖潜新机会”为主题的2017高工LED年会暨金球奖颁奖典礼在深圳宝安登喜路大酒店拉开帷幕。


  作为一年一度的LED产业链的年终盛会,2017高工LED年会再度汇聚国LED企业领袖,与现场400+行业精英全面展望LED产业格局、市场、资本、技术的趋势与走向,深度整合与挖掘当前产业形势下的新机会与战略,共同求解产业与企业的“决胜”之道。


  在12月21日下午由晶元光电冠名的“聚焦中国市场的产业机遇与企业战略”开幕式大会上,陈爱华发表了“MOCVD国产化的现状及发展趋势”的主题演讲。


  MOCVD设备在LED结构里面,可以承接各种层面,包括发光层、反光层、电极层等,MOCVD设备在应用中间起到关键性作用,因为它既决定了芯片产品性能,又决定了其成本。


  相比LED结构,MOCVD在电子功能器件里面结构相对简单一些,但也需要有三层,比如氧化铝的隔离层、有氮化镓的组层、还有最后的电子生长层。总体而言,MOCVD设备在化合物半导体里面要复杂的多,工艺对设备的依赖性也很强。


  的确,MOCVD的价格相比原来已经降低了60%,正是由于国产设备的出现,MOCVD呈现出很大的降价空间。



  如今,在蓝光、白光、绿光市场,经过多年的竞争格局的改变,原来只有德国、美国的两个国外设备厂商垄断,目前由于德国这一家不能满足大规模生产的需求,所以已经出局,仅剩美国一家。如今,国内真正实现量产的也有两家,中晟光电和中微。


  在陈爱华看来,“国产设备经过两代产品在多家客户的规模生产验证,已经具备了性价比上的竞争力,性能上也跟美国设备厂很接近,有些甚至已经超过了他们,并且价格还比较便宜。”


  陈爱华博士介绍,中晟光电自成立之初就建立了自己的知识产权体系和核心技术体系,目前在托盘、自动化装卸等关键技术方面已建立了自主创新的知识产权。陈爱华坦言,“正是由于这些知识产权的建立,我们才有了自己产品的差异化竞争力。可以说,中晟的自主知识产权不会对国内外的专利和知识产权产生侵权。”


  除此之外,中晟光电在创立时就确立了两个原则,一个是制度创新,另一个是技术路线创新。其中,技术路线的确定一定是以市场为导向,而不是技术导向和产品导向。其实,无论是技术导向,还是产品导向,都是以市场导向为主。


  “自主创新不是一天两天就能实现的,需要至少5年的时间。我们已经做了两代,第一代产品做的确实不是很完善,在第二代产品中经过完善得到了解决。自主创新产品是工艺的导入,这是非常依赖设备的。此外,坚持自主创新,必须有很大的资金投入,承受会亏本的压力,这是绝对的。”陈爱华如是说。


  目前,中晟光电的两代产品都已通过了验证,在三安光电和华灿光电都已投入生产。2018年,中晟光电会继续进入大规模生产阶段。


写在最后


  其实,市场发展早在2011年就确定了两点,第一MOCVD设备能够满足大规模生产的需求,第二就是成本一定要低,成本降不下来,产业无法发展。


  经过7年的积累和验证,中晟光电建立了自己的自助创新设备MOCVD的核心技术体系。第三个自主创新一定要用于承受代价,必然会得到收获。最后是第三代半导体材料的外延设备瓶颈正在被突破,国产MOCVD有潜力实现从跟进到超车的转变。

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